扩散炉工作原理图解
关于凯发k8国际 / 2023-12-10
扩散炉是一种用于制造半导体器件的设备,其主要作用是将材料中的杂质扩散到材料表面,从而改变材料的电学性质。我们将深入探讨扩散炉的工作原理,以及它在半导体制造中的重要性。 让我们来看一下扩散炉的基本组成部分。扩散炉通常由一个炉管、一个加热器、一个气体流量控制器和一个真空泵组成。炉管是一个封闭的管道,用于容纳待处理的半导体材料。加热器则用于加热炉管,以使其达到所需的高温。气体流量控制器则用于控制气体流量,从而控制杂质扩散的速率。真空泵则用于将炉管内的气体抽出,以保持高纯度的环境。 在扩散炉中,材料通